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倒裝芯片封裝是把裸芯片正面朝下安裝在基片上的技術。傳統的金線壓焊技術只使用芯片四周的區域。倒裝芯片焊料凸點技術是使用整個芯片的表面,因此,倒裝芯片技術的封裝密度(I/O 密度)更高。用這項技術,還可以把器件的尺寸做得更小,封裝的高度做得更低。最終,電氣性能會因縮短連接距離而做得更好。這可以降低寄生電感、減少噪聲。
倒裝芯片封裝是把集成電路連接到下一層內部連接的工藝。這種工藝在不同的具體應用環境下,作用與效果不同,其中有四種經過簡化的倒裝芯片工藝,把焊料凸點工藝[1]結合進去。倒裝芯片封裝(FCIP):把裸芯片安裝在smt.com/ target=_blank class=infotextkey>bga 等封裝之內的工藝。在板上倒裝芯片(FCOB):把裸芯片直接安裝在電路板上的工藝。晶片級芯片尺寸封裝(WLCSP):這個工藝需要在晶片上增加一個走線層,并且把焊錫凸點直接放在有走線層的晶片上。
芯片尺寸封裝(CSP):把裸芯片安裝到接入層上的工藝。然后,再把這個接入層連接到下一層基片上??紤]到它是CSP,因此封裝尺寸不會超過芯片尺寸的1.2 倍[2]。
由于切割之前在晶片上形成連接端,因此晶片凸點技術比其他芯片封裝辦法更經濟。這個辦法的一個優點是,它能夠促進超微間距凸點技術的研制。凸點技術
目前有許多不同的焊料凸點制作方法可供選擇,它們各有各的優點,然而,有一些辦法在實現超微間距凸點時,又要保持較高的成品率,就有一定的限制。在所有的凸點中,在進行焊點連接之前,在元件上鍍上一層金屬化層,它在凸點的下面,稱作凸點下的金屬化層(UBM)。UBM 是連接到集成電路上的鋁焊盤的金屬層。在再流焊過程中,焊料經過濕潤連接到焊盤上。目前,有許多UBM 合成物可供使用。在正常情況下,要根據所選用的焊料合金、可靠性以及價格來選擇UBM 材料。常用的一些凸點技術如下:
電鍍:一般是在電鍍槽里,把基片當作陰極,利用靜態電流或者脈沖電流來完成焊料的電鍍。在鍍上所需厚度的焊料后,就可以把光致抗蝕劑清除掉,這時焊料凸點制作完成。電鍍的優勢是可以在非常小的間距內印刷,而且可以保證足夠的焊料以得到更高的高度。電鍍的不足之處在于它的啟動成本較高,生產設備的占用面積較大,電解液會造成更多的浪費,選擇合金的靈活性少。
蒸發:這是形成凸點的成熟方法,用于把半導體芯片與陶瓷基片連接起來。蒸發工藝需要兩個掩模,第一個掩模的開口較小,適合UBM,而第二個掩模的開口較大,適合焊料印刷。這個工藝的不足之處是它要使用兩個掩模,又需要蒸發工藝,這會增加成本。
模板印刷和絲網印刷
模板的作用是把焊料、導電膠或者其他類似的材料通過孔轉移到基片上(圖1)。模板印刷是成本最
低的工藝,適合倒裝芯片封裝連接點的印刷;多年來它廣泛用于smt 行業的電路板組裝。模板的制作主要有三個方法:化學蝕刻、激光切割和電鑄成型。
化學蝕刻模板是用金屬箔片(一般為黃銅)制造的,金屬箔片的表面涂有干膜光致抗蝕劑,然后曝光、顯影,形成開孔的圖形。用化學蝕刻法時,把開孔部分的金屬腐蝕掉。在蝕刻階段,蝕刻是各向同性的,會把底部腐蝕得多一些,無法制造開孔間距離很小的模板,不能滿足倒裝芯片封裝微間距的需要?;瘜W蝕刻模板不適合微間距印刷。在制造激光模板時,我們先把金屬箔片固定在框架中。然后按預定的方式移動很強的激光把孔中的材料去掉。制造激光切割模板的最常見材料是不銹鋼;不過也使用鎳,這是因為用鎳制造的激光模板釋放焊膏的性能較好。聚合物箔片也可以用來制造激光模板。這種材料的切割比金屬的切割更干凈,可以得到更光滑的孔壁,因而焊膏釋放的效果更好。最近研制了更精密的激光切割工藝,它們能夠改進模板孔壁的質量,包括更小激光點和水流保護光切割技術。其中的一個優點是在切割之前先由框架進行預拉伸。這樣可以減少模板的變形。激光切割是連續的工藝。隨著器件的輸入/輸出腳數量的增多,制作模板的時間會增長。對于開孔數量很大的晶片凸點模板,是很不利的,這是因為,隨著開孔數量的增加,制作時間會增長,時間會增長到在經濟上不劃算的地步。在切割過程中,加熱和熔化的交互作用會產生粗糙的孔壁,孔的表面面積增大,從而降低焊膏釋放的能力。必須控制在切割過程中產生的的熱量,這樣,它就不會變形,不會損壞開孔之間的細小空間──對于微間距印刷,要求開孔之間的距離很小。電拋光模板一般都屬于激光切割模板,用電化或者機械拋光的方法來處理表面,使之變得平滑。還可以用這種辦法處理其他類型的金屬模板。傳統的電鑄成型模板生產工藝中要用到導電芯板,例如,不銹鋼芯板,并且把一層光致抗蝕劑薄膜覆在導電芯板的表面,在它上面通過曝光、顯影形成圖案。在光刻后,開孔部位的材料留在芯板上。然后把它放到電鍍液中,在芯板上加上電流。一般是用鎳或者鎳合金來制造電鑄模板。與前面所提到的其他減成技術相比,電鍍是一種加成工藝,鍍上去的金屬是精確地按光阻材料圖形進行的。在電鍍到預定厚度之后,把留在孔內的光阻材料清除掉,形成最終的模板。
對倒裝芯片模板的要求
電鑄成型模板比較適合倒裝芯片封裝,不過,對于用來印刷間距小于150μm 的金屬箔片,傳統的模板制造技術并不適合。運用微工程技術來生產更理想的電鑄模板,可以做到這一點[3]。為了能夠在微間距下印刷,這項技術必須與最新含有微粒粉末的焊膏材料(符合IPC 標準的6-8 型焊膏)結合起來。這些模板上孔的公差達到微米數量級,孔壁平滑,適合焊膏釋放,而且箔片的厚度均勻(圖2a 和圖2b),改進了孔的質量。在進行微間距印刷時,需要使用公差只有微米數量級的孔來保證焊膏印刷量一致。隨著孔的直徑越來越小,必須減小模板的厚度,這有利于焊膏的轉移。根據經驗,模板的厚度應為最小的孔徑的三分之二。對微間距印刷來說,模板厚度不能超過75μm。75μm 厚的模板要用框架來拉平。因此,必須使用校正過的參數來生產電鑄模板,保證在印刷過程中基片與模板之間準確地重合。如果達不到這個要求,就會出現錯誤的印刷。
用于倒裝芯片封裝的焊膏
在進行微間距印刷時,需要把焊料合金微粒尺寸分布(PSD)從20-45 μm(三類PSD)降低到15 μm(六類和七類PSD)。為了達到這個要求,PSD 的變化必定會影響焊膏的特性。舉個例子,從三類PSD改變為六類PSD,單位微體積的微粒數量增加了14 倍。焊膏中這些更小的微粒會改變焊膏的流變性(圖3a、b)。流變性會影響剪切力、張力和速度。由于流變性會影響焊膏的滾動和孔的填充與釋放,因此適當的流變性是決定印刷工藝的關鍵。助焊劑的成份和合金量決定了焊膏的流變性。除了WEEE 之外,RoHS 法例要求停止在smt.com/ target=_blank class=infotextkey>電子產品中使用鉛。因此,要用無鉛合金取代錫鉛焊料。就模板印刷而言,首選的無鉛合金為錫銀銅(SAC)合金,它的熔點較高,這就需要改用新的助焊劑,以適應更高的再流溫度和更小微粒尺寸的要求。
印刷
在微間距模板設計方面,由于圓形孔的焊膏釋放能力比方形孔更強,因此,建議把孔的彎角做成圓的。為了滿足微間距印刷的要求,需要優化與控制印刷壓力、印刷和脫網速度。但是,其他參數,例如,適合晶片級凸點印刷的基片固定、刮刀、環境控制、焊膏使用壽命和基片分離速度也是提高成品率的關鍵。由于間距都在200μm 以下,因此,模板裝在機器進行清洗就不再適用了。因此,必須把模板從印刷機中拿下來進行超聲波清洗或者壓力噴射清洗。
結論
如果對技術與市場發展的預測是正確的,隨著WLP 成為大批量低成本的封裝技術,更需要倒裝芯片封裝技術。越來越多的產品需要尺寸更小、速度更快、價格更便宜的元件,這迫使世界領先的封裝制造商不斷尋找適合這種要求的解決辦法。盡管模板印刷技術已經使用了許多年,仍然需要進一步加深理解倒裝芯片封裝,繼續用它實現成本最低的凸點工藝。